真空
真空
진공
VACUUM
2009年
1期
22-25
,共4页
夏志林%薛亦渝%郭培涛%黄才华%李展望%傅志伟
夏誌林%薛亦渝%郭培濤%黃纔華%李展望%傅誌偉
하지림%설역투%곽배도%황재화%리전망%부지위
光学薄膜%残余热应力%膜系设计%有限元模拟
光學薄膜%殘餘熱應力%膜繫設計%有限元模擬
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残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一.基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热应力的膜系设计原则,将该原则的评价函数用于薄膜膜系设计中,采用优化方法可以设计出残余热应力可接受的薄膜.
殘餘應力大的薄膜,容易產生脫膜現象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜領域,殘餘應力也是薄膜激光損傷閾值難以提高的原因之一.基于熱收縮效應模型和彈性力學原理,從薄膜膜繫著手提齣瞭控製薄膜殘餘熱應力的膜繫設計原則,將該原則的評價函數用于薄膜膜繫設計中,採用優化方法可以設計齣殘餘熱應力可接受的薄膜.
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