真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
4期
279-282
,共4页
尤大伟%任荆学%黄小刚%武建军
尤大偉%任荊學%黃小剛%武建軍
우대위%임형학%황소강%무건군
光学镀膜%离子束辅助镀膜%等离子体加速器
光學鍍膜%離子束輔助鍍膜%等離子體加速器
광학도막%리자속보조도막%등리자체가속기
本文目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源.
本文目的在于改進霍爾源的設計,實現寬能、大束流、低氣耗、低汙染、能自動化控製的新一代霍爾源.
본문목적재우개진곽이원적설계,실현관능、대속류、저기모、저오염、능자동화공제적신일대곽이원.
