天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
2期
32-37
,共6页
李鹏%黄美东%佟莉娜%张琳琳%王丽格%李晓娜
李鵬%黃美東%佟莉娜%張琳琳%王麗格%李曉娜
리붕%황미동%동리나%장림림%왕려격%리효나
TiN%磁控溅射%电弧离子镀
TiN%磁控濺射%電弧離子鍍
TiN%자공천사%전호리자도
分别采用磁控溅射和电弧离子镀在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面沉积TiN膜层,利用纳米力学系统、扫描电子显饭镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜进行测试,比较了两种方法所制备的薄膜的异同.结果表明:磁控溅射所制备的薄膜表面平整,但沉积速率和硬度均低于电弧离子镀制备的薄膜.
分彆採用磁控濺射和電弧離子鍍在拋光後的W18Cr4V高速鋼基體錶麵沉積TiN膜層,利用納米力學繫統、掃描電子顯飯鏡(SEM)和X射線衍射儀(XRD)對薄膜進行測試,比較瞭兩種方法所製備的薄膜的異同.結果錶明:磁控濺射所製備的薄膜錶麵平整,但沉積速率和硬度均低于電弧離子鍍製備的薄膜.
분별채용자공천사화전호리자도재포광후적W18Cr4V고속강기체표면침적TiN막층,이용납미역학계통、소묘전자현반경(SEM)화X사선연사의(XRD)대박막진행측시,비교료량충방법소제비적박막적이동.결과표명:자공천사소제비적박막표면평정,단침적속솔화경도균저우전호리자도제비적박막.
