西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2011年
4期
312-317
,共6页
尚小燕%韩军%王星%孔英秀
尚小燕%韓軍%王星%孔英秀
상소연%한군%왕성%공영수
透射率光谱%薄膜光学常数%模拟退火算法%退温速率%自适应查找
透射率光譜%薄膜光學常數%模擬退火算法%退溫速率%自適應查找
투사솔광보%박막광학상수%모의퇴화산법%퇴온속솔%자괄응사조
为了消除薄膜实际光学常数与理论光学常数差异对监控的影响,基于实测透射率光谱曲线,采用模拟退火(SA)算法对已镀膜层实际光学常数n、k、d进行数值反演;在应用模拟退火算法时,对于某一退火温度t,新解的查找范围根据新解的接受率来自适应控制,快速地找到更优的新解;当新解确定后,退温采用指数降温方式,其退温速率α的取值根据接受概率P的不同而变化,当连续退温后,满足终止条件,算法结束;算法经此改进后,应用在石英玻璃基底上镀制ZnS薄膜实例中,经验证,在较短的时间内找到n、k、d值,提高了优化速度与算法效率.
為瞭消除薄膜實際光學常數與理論光學常數差異對鑑控的影響,基于實測透射率光譜麯線,採用模擬退火(SA)算法對已鍍膜層實際光學常數n、k、d進行數值反縯;在應用模擬退火算法時,對于某一退火溫度t,新解的查找範圍根據新解的接受率來自適應控製,快速地找到更優的新解;噹新解確定後,退溫採用指數降溫方式,其退溫速率α的取值根據接受概率P的不同而變化,噹連續退溫後,滿足終止條件,算法結束;算法經此改進後,應用在石英玻璃基底上鍍製ZnS薄膜實例中,經驗證,在較短的時間內找到n、k、d值,提高瞭優化速度與算法效率.
위료소제박막실제광학상수여이론광학상수차이대감공적영향,기우실측투사솔광보곡선,채용모의퇴화(SA)산법대이도막층실제광학상수n、k、d진행수치반연;재응용모의퇴화산법시,대우모일퇴화온도t,신해적사조범위근거신해적접수솔래자괄응공제,쾌속지조도경우적신해;당신해학정후,퇴온채용지수강온방식,기퇴온속솔α적취치근거접수개솔P적불동이변화,당련속퇴온후,만족종지조건,산법결속;산법경차개진후,응용재석영파리기저상도제ZnS박막실례중,경험증,재교단적시간내조도n、k、d치,제고료우화속도여산법효솔.
