润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2012年
4期
57-61
,共5页
佘博西%李书昌%谷坤明%刘锐森%汤皎宁
佘博西%李書昌%穀坤明%劉銳森%湯皎寧
사박서%리서창%곡곤명%류예삼%탕교저
类金刚石膜%电子回旋共振%中频磁控溅射%气相沉积
類金剛石膜%電子迴鏇共振%中頻磁控濺射%氣相沉積
류금강석막%전자회선공진%중빈자공천사%기상침적
为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响.结果表明:改变溅射电流能有效地控制类金刚石膜中金属含量,拉曼光谱显示,制备的薄膜为典型的类金刚石薄膜结构；Cu的掺入使得类金刚石膜的硬度和耐磨损性能下降,但在一定溅射电流下可得到薄膜结构及机械性能均较好的掺Cu类金刚石膜.
為改善DLC膜的內應力及導熱問題,採用ECR微波等離子體化學氣相沉積及中頻磁控濺射的方法製備摻Cu類金剛石膜,研究濺射電流對薄膜中Cu含量、薄膜錶麵形貌、結構及機械性能的影響.結果錶明:改變濺射電流能有效地控製類金剛石膜中金屬含量,拉曼光譜顯示,製備的薄膜為典型的類金剛石薄膜結構；Cu的摻入使得類金剛石膜的硬度和耐磨損性能下降,但在一定濺射電流下可得到薄膜結構及機械性能均較好的摻Cu類金剛石膜.
위개선DLC막적내응력급도열문제,채용ECR미파등리자체화학기상침적급중빈자공천사적방법제비참Cu류금강석막,연구천사전류대박막중Cu함량、박막표면형모、결구급궤계성능적영향.결과표명:개변천사전류능유효지공제류금강석막중금속함량,랍만광보현시,제비적박막위전형적류금강석박막결구；Cu적참입사득류금강석막적경도화내마손성능하강,단재일정천사전류하가득도박막결구급궤계성능균교호적참Cu류금강석막.
