光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2004年
1期
103-106
,共4页
光学方法%薄膜厚度%测量
光學方法%薄膜厚度%測量
광학방법%박막후도%측량
介绍了测量固体薄膜厚度的光学方法.分析了这些方法的光学原理,对所使用的光源、测量范围、测量精度、实现的难度以及方法所适用的场合等多种因素进行了比较分析,结果表明:对于厚度在10～100μm范围的固体薄膜而言,激光干涉法是一种简单、易于实现且测量精度较高的方法.
介紹瞭測量固體薄膜厚度的光學方法.分析瞭這些方法的光學原理,對所使用的光源、測量範圍、測量精度、實現的難度以及方法所適用的場閤等多種因素進行瞭比較分析,結果錶明:對于厚度在10～100μm範圍的固體薄膜而言,激光榦涉法是一種簡單、易于實現且測量精度較高的方法.
개소료측량고체박막후도적광학방법.분석료저사방법적광학원리,대소사용적광원、측량범위、측량정도、실현적난도이급방법소괄용적장합등다충인소진행료비교분석,결과표명:대우후도재10～100μm범위적고체박막이언,격광간섭법시일충간단、역우실현차측량정도교고적방법.
