微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2004年
5期
489-492
,共4页
吴丰顺%王磊%吴懿平%张金松%姜幼卿
吳豐順%王磊%吳懿平%張金鬆%薑幼卿
오봉순%왕뢰%오의평%장금송%강유경
集成电路%互连线%电迁移%加速寿命试验%移动速度试验
集成電路%互連線%電遷移%加速壽命試驗%移動速度試驗
집성전로%호련선%전천이%가속수명시험%이동속도시험
介绍了研究集成电路互连线电迁移的两种方法:加速寿命试验和移动速度试验.对加速寿命试验进行了分析和评价.分析表明,加速寿命试验方法存在高应力条件与正常工作条件下互连线电迁移中金属离子扩散机制不同、BLACK方程的使用范围有限、受试件特殊结构影响和电阻温度系数TCR随温度变化等问题.介绍了一种改进方法.详细介绍了移动速度试验,指出了其在互连线电迁移研究中的应用.
介紹瞭研究集成電路互連線電遷移的兩種方法:加速壽命試驗和移動速度試驗.對加速壽命試驗進行瞭分析和評價.分析錶明,加速壽命試驗方法存在高應力條件與正常工作條件下互連線電遷移中金屬離子擴散機製不同、BLACK方程的使用範圍有限、受試件特殊結構影響和電阻溫度繫數TCR隨溫度變化等問題.介紹瞭一種改進方法.詳細介紹瞭移動速度試驗,指齣瞭其在互連線電遷移研究中的應用.
개소료연구집성전로호련선전천이적량충방법:가속수명시험화이동속도시험.대가속수명시험진행료분석화평개.분석표명,가속수명시험방법존재고응력조건여정상공작조건하호련선전천이중금속리자확산궤제불동、BLACK방정적사용범위유한、수시건특수결구영향화전조온도계수TCR수온도변화등문제.개소료일충개진방법.상세개소료이동속도시험,지출료기재호련선전천이연구중적응용.
