微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2007年
13期
25-27
,共3页
PLC%MOCVD%计算机控制系统
PLC%MOCVD%計算機控製繫統
PLC%MOCVD%계산궤공제계통
针对MOCVD系统工艺的要求,设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统.本文从系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍.采用可编程控制器作为其核心控制系统,提高了系统的自动化程度,保证了系统运行的可靠性,灵活性.
針對MOCVD繫統工藝的要求,設計瞭一種基于PLC的MOCVD計算機控製繫統.本文從繫統的組成、實現原理和軟件設計等方麵做瞭介紹.採用可編程控製器作為其覈心控製繫統,提高瞭繫統的自動化程度,保證瞭繫統運行的可靠性,靈活性.
침대MOCVD계통공예적요구,설계료일충기우PLC적MOCVD계산궤공제계통.본문종계통적조성、실현원리화연건설계등방면주료개소.채용가편정공제기작위기핵심공제계통,제고료계통적자동화정도,보증료계통운행적가고성,령활성.
