功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
12期
2088-2090,2094
,共4页
李军%朱永伟%左敦稳%朱镛%陈创天
李軍%硃永偉%左敦穩%硃鏞%陳創天
리군%주영위%좌돈은%주용%진창천
LBO晶体%超精密加工%化学机械抛光%表面粗糙度%表面平面度
LBO晶體%超精密加工%化學機械拋光%錶麵粗糙度%錶麵平麵度
LBO정체%초정밀가공%화학궤계포광%표면조조도%표면평면도
采用Logitech PM5精密研抛机,通过机械抛光和化学机械抛光方法超精密加工LBO晶体;详细研究了LBO晶体的超精密加工工艺,并观察研磨和抛光等加工过程后的晶体表面形貌;研究抛光液和抛光垫在抛光中对LBO晶体表面微观形貌的影响.使用Wkyo激光干涉仪测量平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和观察微观形貌.通过实验,实现高效率、高精度、高质量的LBO晶体的超精密加工,得到了LBO晶体的超精密加工工艺;超精密加工后晶体的表面粗糙度＜0.2nm RMS,表面平面度＜氇/10(氇=633nm),微观损伤少.
採用Logitech PM5精密研拋機,通過機械拋光和化學機械拋光方法超精密加工LBO晶體;詳細研究瞭LBO晶體的超精密加工工藝,併觀察研磨和拋光等加工過程後的晶體錶麵形貌;研究拋光液和拋光墊在拋光中對LBO晶體錶麵微觀形貌的影響.使用Wkyo激光榦涉儀測量平麵度,光學顯微鏡觀察錶麵宏觀損傷,原子力顯微鏡測量錶麵粗糙度和觀察微觀形貌.通過實驗,實現高效率、高精度、高質量的LBO晶體的超精密加工,得到瞭LBO晶體的超精密加工工藝;超精密加工後晶體的錶麵粗糙度＜0.2nm RMS,錶麵平麵度＜氌/10(氌=633nm),微觀損傷少.
채용Logitech PM5정밀연포궤,통과궤계포광화화학궤계포광방법초정밀가공LBO정체;상세연구료LBO정체적초정밀가공공예,병관찰연마화포광등가공과정후적정체표면형모;연구포광액화포광점재포광중대LBO정체표면미관형모적영향.사용Wkyo격광간섭의측량평면도,광학현미경관찰표면굉관손상,원자력현미경측량표면조조도화관찰미관형모.통과실험,실현고효솔、고정도、고질량적LBO정체적초정밀가공,득도료LBO정체적초정밀가공공예;초정밀가공후정체적표면조조도＜0.2nm RMS,표면평면도＜로/10(로=633nm),미관손상소.
