稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2009年
z1期
428-431
,共4页
磁控溅射法%晶化处理%显微结构%NiTi SMA/PZT异质复合材料
磁控濺射法%晶化處理%顯微結構%NiTi SMA/PZT異質複閤材料
자공천사법%정화처리%현미결구%NiTi SMA/PZT이질복합재료
采用直流磁控溅射法在PZT基体上溅射沉积NiTiSMA薄膜,而制备出PZT基NiTii SMA/PZT异质复合材料.研究了溅射工艺参数与晶化温度对NiTi SMA薄膜相组成及SMA/PZT异质复合材料膜/基间结合状态的影响规律.结果表明,为保障NiTi SMA薄膜的晶体颗粒均匀、结构致密,膜/基间成分交换范围小及结合紧密,制各NiTi SMA/PZT异质复合材料的适宜工艺为:于基体温度150℃、氩气压强0.7 Pa条件下溅射沉积NiTi SMA薄膜,再经600℃二次晶化处理.显微观察发现,NiTi SMA薄膜与PZT基体之间以化学方式,而非物理方式结合.
採用直流磁控濺射法在PZT基體上濺射沉積NiTiSMA薄膜,而製備齣PZT基NiTii SMA/PZT異質複閤材料.研究瞭濺射工藝參數與晶化溫度對NiTi SMA薄膜相組成及SMA/PZT異質複閤材料膜/基間結閤狀態的影響規律.結果錶明,為保障NiTi SMA薄膜的晶體顆粒均勻、結構緻密,膜/基間成分交換範圍小及結閤緊密,製各NiTi SMA/PZT異質複閤材料的適宜工藝為:于基體溫度150℃、氬氣壓彊0.7 Pa條件下濺射沉積NiTi SMA薄膜,再經600℃二次晶化處理.顯微觀察髮現,NiTi SMA薄膜與PZT基體之間以化學方式,而非物理方式結閤.
채용직류자공천사법재PZT기체상천사침적NiTiSMA박막,이제비출PZT기NiTii SMA/PZT이질복합재료.연구료천사공예삼수여정화온도대NiTi SMA박막상조성급SMA/PZT이질복합재료막/기간결합상태적영향규률.결과표명,위보장NiTi SMA박막적정체과립균균、결구치밀,막/기간성분교환범위소급결합긴밀,제각NiTi SMA/PZT이질복합재료적괄의공예위:우기체온도150℃、아기압강0.7 Pa조건하천사침적NiTi SMA박막,재경600℃이차정화처리.현미관찰발현,NiTi SMA박막여PZT기체지간이화학방식,이비물리방식결합.
