制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2011年
7期
22-25
,共4页
赵其杰%程德富%卢建霞%张国栋
趙其傑%程德富%盧建霞%張國棟
조기걸%정덕부%로건하%장국동
单晶硅%直拉法%直径检测%图像处理
單晶硅%直拉法%直徑檢測%圖像處理
단정규%직랍법%직경검측%도상처리
将直拉法单晶硅生长过程分解为引晶阶段、引晶过渡阶段及等径生长等三个阶段,提出了基于视觉检测和通信控制相结合的单晶直径检测与监控方法,针对晶体生长不同阶段的特点设计了图像边缘特征信息检测及依据特征信息进行拟合的图像处理算法.根据提出的直径检测与监控方法,开发了单晶直径检测与监控的应用软件,在建立的系统中进行了初步试验研究,试验数据表明在一定精度条件下提出的方法是可行的.
將直拉法單晶硅生長過程分解為引晶階段、引晶過渡階段及等徑生長等三箇階段,提齣瞭基于視覺檢測和通信控製相結閤的單晶直徑檢測與鑑控方法,針對晶體生長不同階段的特點設計瞭圖像邊緣特徵信息檢測及依據特徵信息進行擬閤的圖像處理算法.根據提齣的直徑檢測與鑑控方法,開髮瞭單晶直徑檢測與鑑控的應用軟件,在建立的繫統中進行瞭初步試驗研究,試驗數據錶明在一定精度條件下提齣的方法是可行的.
장직랍법단정규생장과정분해위인정계단、인정과도계단급등경생장등삼개계단,제출료기우시각검측화통신공제상결합적단정직경검측여감공방법,침대정체생장불동계단적특점설계료도상변연특정신식검측급의거특정신식진행의합적도상처리산법.근거제출적직경검측여감공방법,개발료단정직경검측여감공적응용연건,재건립적계통중진행료초보시험연구,시험수거표명재일정정도조건하제출적방법시가행적.
