煤气与热力
煤氣與熱力
매기여열력
GAS & HEAT
2011年
11期
39-42
,共4页
微机械电子系统%质量流量计%膜式表%实流检测
微機械電子繫統%質量流量計%膜式錶%實流檢測
미궤계전자계통%질량류량계%막식표%실류검측
介绍了微机械电子系统( MEMS)质量流量计的构造、工作原理、技术特性,探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能,实流检测及实际应用.膜式表和MEMS质量流量计的实际应用效果对比显示,MEMS质量流量计比膜式表测量相对误差小,始动流量小.
介紹瞭微機械電子繫統( MEMS)質量流量計的構造、工作原理、技術特性,探討瞭MEMS質量流量計的校準、對前直管段的要求、可靠性和溫度性能,實流檢測及實際應用.膜式錶和MEMS質量流量計的實際應用效果對比顯示,MEMS質量流量計比膜式錶測量相對誤差小,始動流量小.
개소료미궤계전자계통( MEMS)질량류량계적구조、공작원리、기술특성,탐토료MEMS질량류량계적교준、대전직관단적요구、가고성화온도성능,실류검측급실제응용.막식표화MEMS질량류량계적실제응용효과대비현시,MEMS질량류량계비막식표측량상대오차소,시동류량소.
