硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
1999年
3期
18-22
,共5页
压电薄膜%压电性能%测量方法
壓電薄膜%壓電性能%測量方法
압전박막%압전성능%측량방법
压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视.薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同.本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点.对已有的测量结果进行了简要分析.
壓電薄膜在微傳感器和微緻動器方麵的應用日益受到重視.薄膜壓電性能的測量方法與體材相比有很大不同.本文介紹瞭幾種測量薄膜壓電特性的方法,包括:激光榦涉儀法,掃描探針顯微鏡法,垂直加載法等,併比較瞭這些方法的優缺點.對已有的測量結果進行瞭簡要分析.
압전박막재미전감기화미치동기방면적응용일익수도중시.박막압전성능적측량방법여체재상비유흔대불동.본문개소료궤충측량박막압전특성적방법,포괄:격광간섭의법,소묘탐침현미경법,수직가재법등,병비교료저사방법적우결점.대이유적측량결과진행료간요분석.
