材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2005年
5期
46-48
,共3页
氮化锆薄膜%颜色调控%磁控溅射%中频电源
氮化鋯薄膜%顏色調控%磁控濺射%中頻電源
담화고박막%안색조공%자공천사%중빈전원
应用中频非平衡磁控反应溅射技术沉积氮化锆薄膜,通过对Zr-N薄膜颜色测量,绘制了氮分压为横坐标的L*,a*,b*值的影响曲线和Zr-N薄膜随氮分压变化的反射率曲线.发现随真空炉内氮分压的增大,Zr-N薄膜的相结构发生变化,薄膜颜色由银白色→浅黄色→金黄色→深红色的颜色变化规律.比较Zr-N薄膜,TiN薄膜,黄金和金合金颜色,氮分压为50%时,与纯金的色差最小.结果表明,镀膜过程中控制氩气和氮气流量的比值(Ar/N2)可以调节Zr-N膜的颜色.氮分压有比较宽的可调节范围获得金黄色.
應用中頻非平衡磁控反應濺射技術沉積氮化鋯薄膜,通過對Zr-N薄膜顏色測量,繪製瞭氮分壓為橫坐標的L*,a*,b*值的影響麯線和Zr-N薄膜隨氮分壓變化的反射率麯線.髮現隨真空爐內氮分壓的增大,Zr-N薄膜的相結構髮生變化,薄膜顏色由銀白色→淺黃色→金黃色→深紅色的顏色變化規律.比較Zr-N薄膜,TiN薄膜,黃金和金閤金顏色,氮分壓為50%時,與純金的色差最小.結果錶明,鍍膜過程中控製氬氣和氮氣流量的比值(Ar/N2)可以調節Zr-N膜的顏色.氮分壓有比較寬的可調節範圍穫得金黃色.
응용중빈비평형자공반응천사기술침적담화고박막,통과대Zr-N박막안색측량,회제료담분압위횡좌표적L*,a*,b*치적영향곡선화Zr-N박막수담분압변화적반사솔곡선.발현수진공로내담분압적증대,Zr-N박막적상결구발생변화,박막안색유은백색→천황색→금황색→심홍색적안색변화규률.비교Zr-N박막,TiN박막,황금화금합금안색,담분압위50%시,여순금적색차최소.결과표명,도막과정중공제아기화담기류량적비치(Ar/N2)가이조절Zr-N막적안색.담분압유비교관적가조절범위획득금황색.
