机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2007年
1期
170-175
,共6页
电火花加工%微细加工%机床%宏微驱动%超微能
電火花加工%微細加工%機床%宏微驅動%超微能
전화화가공%미세가공%궤상%굉미구동%초미능
研制开发两台高精度、高性能,具有自主知识产权的微细电火花加工机床,并对微细电火花加工机床的几个特有关键技术进行了深入研究.基于压电陶瓷的宏微伺服进给系统能实现分辨率为3.42 nm的微进给,并且能实现振动式进给,以改善微细电火花加工的间隙状态,提高微细电火花的加工效率和加工质量.结合块电极反拷与线电极反拷的微细工具电极反拷系统,可高效高精度地现场制作微细电极,电极直径最小可达4 μm.基于多传感器信息融合技术的放电间隙状态监测技术,能很好地解决微细电火花加工间隙状态的监测与识别问题.RC脉冲电源不存在维持电压现象,这一最新发现为降低单脉冲放电能量难题提供一个新的解决途径,使得基于RC方法开发的超微能脉冲电源的单脉冲放电能量最小降至皮焦级,为微细电火花加工奠定了良好的基础.最后的微细电火花加工试验表明,所开发的微细电火花加工机床性能稳定,且加工质量良好,尤其适合加工孔径为50～200 μm的微细孔.
研製開髮兩檯高精度、高性能,具有自主知識產權的微細電火花加工機床,併對微細電火花加工機床的幾箇特有關鍵技術進行瞭深入研究.基于壓電陶瓷的宏微伺服進給繫統能實現分辨率為3.42 nm的微進給,併且能實現振動式進給,以改善微細電火花加工的間隙狀態,提高微細電火花的加工效率和加工質量.結閤塊電極反拷與線電極反拷的微細工具電極反拷繫統,可高效高精度地現場製作微細電極,電極直徑最小可達4 μm.基于多傳感器信息融閤技術的放電間隙狀態鑑測技術,能很好地解決微細電火花加工間隙狀態的鑑測與識彆問題.RC脈遲電源不存在維持電壓現象,這一最新髮現為降低單脈遲放電能量難題提供一箇新的解決途徑,使得基于RC方法開髮的超微能脈遲電源的單脈遲放電能量最小降至皮焦級,為微細電火花加工奠定瞭良好的基礎.最後的微細電火花加工試驗錶明,所開髮的微細電火花加工機床性能穩定,且加工質量良好,尤其適閤加工孔徑為50～200 μm的微細孔.
연제개발량태고정도、고성능,구유자주지식산권적미세전화화가공궤상,병대미세전화화가공궤상적궤개특유관건기술진행료심입연구.기우압전도자적굉미사복진급계통능실현분변솔위3.42 nm적미진급,병차능실현진동식진급,이개선미세전화화가공적간극상태,제고미세전화화적가공효솔화가공질량.결합괴전겁반고여선전겁반고적미세공구전겁반고계통,가고효고정도지현장제작미세전겁,전겁직경최소가체4 μm.기우다전감기신식융합기술적방전간극상태감측기술,능흔호지해결미세전화화가공간극상태적감측여식별문제.RC맥충전원불존재유지전압현상,저일최신발현위강저단맥충방전능량난제제공일개신적해결도경,사득기우RC방법개발적초미능맥충전원적단맥충방전능량최소강지피초급,위미세전화화가공전정료량호적기출.최후적미세전화화가공시험표명,소개발적미세전화화가공궤상성능은정,차가공질량량호,우기괄합가공공경위50～200 μm적미세공.
