中国电机工程学报
中國電機工程學報
중국전궤공정학보
ZHONGGUO DIANJI GONGCHENG XUEBAO
2007年
24期
92-96
,共5页
石阳春%周云飞%李鸿%李介明%黄永红
石暘春%週雲飛%李鴻%李介明%黃永紅
석양춘%주운비%리홍%리개명%황영홍
光刻机%工件台%直线电机%迭代学习控制%前馈补偿
光刻機%工件檯%直線電機%迭代學習控製%前饋補償
광각궤%공건태%직선전궤%질대학습공제%전궤보상
光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求.为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的轨迹跟踪精度.提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能.控制器由三部分组成:PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性;前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能;迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近.实验结果表明,这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度.
光刻機工件檯在掃描曝光過程中要求納米級的定位精度,採用長行程直線電機粗動加洛崙玆電機高精密微動補償的6自由度複閤運動繫統能滿足要求.為減小微動電機的運動範圍和加速度,必鬚提高直線電機的軌跡跟蹤精度.提齣瞭一種開閉環D型迭代學習控製律改善永磁直線同步電動機(PMLSM)的軌跡跟蹤性能.控製器由三部分組成:PID控製器用來提高繫統對擾動和參數變化的魯棒性;前饋補償器可提高繫統的實時跟蹤性能;迭代學習控製器則通過執行重複任務來不斷嚮理想的控製信號逼近.實驗結果錶明,這種控製方法可以有效提高繫統的軌跡跟蹤精度.
광각궤공건태재소묘폭광과정중요구납미급적정위정도,채용장행정직선전궤조동가락륜자전궤고정밀미동보상적6자유도복합운동계통능만족요구.위감소미동전궤적운동범위화가속도,필수제고직선전궤적궤적근종정도.제출료일충개폐배D형질대학습공제률개선영자직선동보전동궤(PMLSM)적궤적근종성능.공제기유삼부분조성:PID공제기용래제고계통대우동화삼수변화적로봉성;전궤보상기가제고계통적실시근종성능;질대학습공제기칙통과집행중복임무래불단향이상적공제신호핍근.실험결과표명,저충공제방법가이유효제고계통적궤적근종정도.
