中央民族大学学报（自然科学版）
中央民族大學學報（自然科學版）
중앙민족대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF THE CENTRAL UNIVERSITY FOR NATIONALITIES （NATURAL SCIENCES EDITION）
2007年
4期
318-324
,共7页
激光凋阻%凋阻精度%激光刻蚀路径%有限元
激光凋阻%凋阻精度%激光刻蝕路徑%有限元
격광조조%조조정도%격광각식로경%유한원
激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物理模型,然后应用有限元法计算该物理模型的数值解,分析、处理这些数据可得到不同型号片阻阻值与不同刻蚀路径之间的定量关系;经实验验证表明,利用有限元法得到的片阻阻值与刻蚀路径的关系函数的计算偏差不大于2%,可以应用有限元法研究激光刻蚀路径对片阻阻值的影响,进而为精调片阻阻值提供了控制依据.
激光對片式電阻的刻蝕路徑直接影響片式電阻的阻值精度,掌握激光刻蝕路徑對片阻阻值的影響可為精調片阻阻值提供理論依據.掌握激光刻蝕路徑與片阻阻值關繫的前提是確定準確、有效的研究方法,首先,應確定片阻阻值與激光刻蝕路徑關繫的物理模型,然後應用有限元法計算該物理模型的數值解,分析、處理這些數據可得到不同型號片阻阻值與不同刻蝕路徑之間的定量關繫;經實驗驗證錶明,利用有限元法得到的片阻阻值與刻蝕路徑的關繫函數的計算偏差不大于2%,可以應用有限元法研究激光刻蝕路徑對片阻阻值的影響,進而為精調片阻阻值提供瞭控製依據.
격광대편식전조적각식로경직접영향편식전조적조치정도,장악격광각식로경대편조조치적영향가위정조편조조치제공이론의거.장악격광각식로경여편조조치관계적전제시학정준학、유효적연구방법,수선,응학정편조조치여격광각식로경관계적물리모형,연후응용유한원법계산해물리모형적수치해,분석、처리저사수거가득도불동형호편조조치여불동각식로경지간적정량관계;경실험험증표명,이용유한원법득도적편조조치여각식로경적관계함수적계산편차불대우2%,가이응용유한원법연구격광각식로경대편조조치적영향,진이위정조편조조치제공료공제의거.
