光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
6期
1131-1135
,共5页
戴一帆%周林%解旭辉%焦长君%李圣怡
戴一帆%週林%解旭輝%焦長君%李聖怡
대일범%주림%해욱휘%초장군%리골이
光学加工%离子束修形%计算机控制光学表面成形%驻留时间%去除函数
光學加工%離子束脩形%計算機控製光學錶麵成形%駐留時間%去除函數
광학가공%리자속수형%계산궤공제광학표면성형%주류시간%거제함수
为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法.介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论.在自研的离子束修形设备上对一块直径φ98 mm的微晶玻璃平面样件进行了离子束修形试验,经过两次的迭代修形使其面形精度均方根误差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的面形收敛率达到3.7.实验结果表明,应用离子束进行光学镜面修形无边缘效应、面形收敛快、加工精度高;由于离子束修形技术去除材料过程自身的特点,使数控离子束修形技术对非球面的加工和对平面的加工难度相当.
為瞭剋服傳統光學鏡麵拋光方法的缺點,提齣瞭應用離子束進行光學鏡麵脩形的方法.介紹瞭離子束脩形技術的原理和方法,併對離子束脩形中涉及的關鍵技術進行瞭討論.在自研的離子束脩形設備上對一塊直徑φ98 mm的微晶玻璃平麵樣件進行瞭離子束脩形試驗,經過兩次的迭代脩形使其麵形精度均方根誤差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的麵形收斂率達到3.7.實驗結果錶明,應用離子束進行光學鏡麵脩形無邊緣效應、麵形收斂快、加工精度高;由于離子束脩形技術去除材料過程自身的特點,使數控離子束脩形技術對非毬麵的加工和對平麵的加工難度相噹.
위료극복전통광학경면포광방법적결점,제출료응용리자속진행광학경면수형적방법.개소료리자속수형기술적원리화방법,병대리자속수형중섭급적관건기술진행료토론.재자연적리자속수형설비상대일괴직경φ98 mm적미정파리평면양건진행료리자속수형시험,경과량차적질대수형사기면형정도균방근오차유초시적0.136λ제고도0.010λ(λ=632.8nm),평균매차질대적면형수렴솔체도3.7.실험결과표명,응용리자속진행광학경면수형무변연효응、면형수렴쾌、가공정도고;유우리자속수형기술거제재료과정자신적특점,사수공리자속수형기술대비구면적가공화대평면적가공난도상당.
