低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2009年
6期
7-11
,共5页
硅烷%技术路线%硅化镁%多晶硅%非晶硅太阳能电池
硅烷%技術路線%硅化鎂%多晶硅%非晶硅太暘能電池
규완%기술로선%규화미%다정규%비정규태양능전지
阐述了国内硅烷的生产现状、所采用的技术路线以及在引进国外技术方面所面临的问题.对硅化镁法生产硅烷的工艺过程中比较突出的几个问题如氨的回收,杂质水、氢和碳氢化合物等谈了自己的看法和处理意见.
闡述瞭國內硅烷的生產現狀、所採用的技術路線以及在引進國外技術方麵所麵臨的問題.對硅化鎂法生產硅烷的工藝過程中比較突齣的幾箇問題如氨的迴收,雜質水、氫和碳氫化閤物等談瞭自己的看法和處理意見.
천술료국내규완적생산현상、소채용적기술로선이급재인진국외기술방면소면림적문제.대규화미법생산규완적공예과정중비교돌출적궤개문제여안적회수,잡질수、경화탄경화합물등담료자기적간법화처리의견.
