光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2004年
z1期
31-35
,共5页
MEMS%微加工%硅微加工%非全硅微陀螺
MEMS%微加工%硅微加工%非全硅微陀螺
MEMS%미가공%규미가공%비전규미타라
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.
本文的主要內容包括:(1)簡要介紹瞭硅微型陀螺儀的分類及其基本工作原理,包括硅微型梳狀線振動驅動式陀螺儀、振動輪式微機械陀螺儀、硅微型框架驅動式陀螺儀.(2)詳細介紹瞭以微陀螺為覈心的微型慣性測量繫統的組成,在應用中的關鍵技術,主要問題及解決途徑,併展望瞭微型慣性測量繫統的髮展前景.(3)提齣瞭利用MEMS綜閤微加工方法實現的非全硅微陀螺技術.
본문적주요내용포괄:(1)간요개소료규미형타라의적분류급기기본공작원리,포괄규미형소상선진동구동식타라의、진동륜식미궤계타라의、규미형광가구동식타라의.(2)상세개소료이미타라위핵심적미형관성측량계통적조성,재응용중적관건기술,주요문제급해결도경,병전망료미형관성측량계통적발전전경.(3)제출료이용MEMS종합미가공방법실현적비전규미타라기술.
