河北大学学报(自然科学版)
河北大學學報(自然科學版)
하북대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HEBEI NORMAL UNIVERSITY
2005年
2期
225-230
,共6页
武德起%刘保亭%闫正%闫常瑜%赵庆勋
武德起%劉保亭%閆正%閆常瑜%趙慶勛
무덕기%류보정%염정%염상유%조경훈
铁电薄膜%集成铁电体%铁电存储器
鐵電薄膜%集成鐵電體%鐵電存儲器
철전박막%집성철전체%철전존저기
综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻挡层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题.
綜述瞭鐵電薄膜以及鐵電存儲器的髮展,討論瞭鐵電薄膜製備方法、結構和物理性能錶徵,併結閤作者的前期工作,詳細討論瞭用于鐵電薄膜與硅襯底集成的導電阻擋層問題,指齣瞭鐵電薄膜研究中需重點解決的一些問題.
종술료철전박막이급철전존저기적발전,토론료철전박막제비방법、결구화물이성능표정,병결합작자적전기공작,상세토론료용우철전박막여규츤저집성적도전조당층문제,지출료철전박막연구중수중점해결적일사문제.
