传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1401-1403
,共3页
张正元%徐世六%冯建%胡明雨
張正元%徐世六%馮建%鬍明雨
장정원%서세륙%풍건%호명우
可动部件%硅薄膜%MEMS
可動部件%硅薄膜%MEMS
가동부건%규박막%MEMS
对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结合的在带图形的硅衬底上制备硅薄膜的有效方法,该方法制备出了的薄膜厚度为10 μm,均匀性为±0.5μm,达到了厚膜SOI材料制备的指标要求,硅薄膜完好率达到70%以上,为硅基MEMS的可动部件的制备打下了坚实的基础.
對硅基MEMS的可動部件很多都是採用在帶圖形的硅襯底上製備的硅薄膜通過深槽腐蝕釋放穫得的特點,開展在帶圖形的硅襯底上製備硅薄膜技術研究,得到一種通過兩次硅硅鍵閤、減薄拋光、一次濕法腐蝕硅相結閤的在帶圖形的硅襯底上製備硅薄膜的有效方法,該方法製備齣瞭的薄膜厚度為10 μm,均勻性為±0.5μm,達到瞭厚膜SOI材料製備的指標要求,硅薄膜完好率達到70%以上,為硅基MEMS的可動部件的製備打下瞭堅實的基礎.
대규기MEMS적가동부건흔다도시채용재대도형적규츤저상제비적규박막통과심조부식석방획득적특점,개전재대도형적규츤저상제비규박막기술연구,득도일충통과량차규규건합、감박포광、일차습법부식규상결합적재대도형적규츤저상제비규박막적유효방법,해방법제비출료적박막후도위10 μm,균균성위±0.5μm,체도료후막SOI재료제비적지표요구,규박막완호솔체도70%이상,위규기MEMS적가동부건적제비타하료견실적기출.
