红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
2期
219-221
,共3页
杨叶飞%董金珠%张学敏%梁平治
楊葉飛%董金珠%張學敏%樑平治
양협비%동금주%장학민%량평치
光谱响应%小光斑法%硅光电探测%横向扩散%光敏面%测试
光譜響應%小光斑法%硅光電探測%橫嚮擴散%光敏麵%測試
광보향응%소광반법%규광전탐측%횡향확산%광민면%측시
通过对光电二极管结构和工作原理及光谱响应特性的分析,探讨了在相同工艺条件下,硅光电探测器的小光斑法测试过程中,不同大小光敏面得到不同光谱响应曲线问题.参考一维分析,建立了简化的二维分析方法,并做出定性的分析以及定量的计算,得到与测试一致的结果:光敏面积对响应率的光谱特性的影响为短波基本无变化,长波随光敏面积的减小而减小,为以后的测试改进提供了参考.
通過對光電二極管結構和工作原理及光譜響應特性的分析,探討瞭在相同工藝條件下,硅光電探測器的小光斑法測試過程中,不同大小光敏麵得到不同光譜響應麯線問題.參攷一維分析,建立瞭簡化的二維分析方法,併做齣定性的分析以及定量的計算,得到與測試一緻的結果:光敏麵積對響應率的光譜特性的影響為短波基本無變化,長波隨光敏麵積的減小而減小,為以後的測試改進提供瞭參攷.
통과대광전이겁관결구화공작원리급광보향응특성적분석,탐토료재상동공예조건하,규광전탐측기적소광반법측시과정중,불동대소광민면득도불동광보향응곡선문제.삼고일유분석,건립료간화적이유분석방법,병주출정성적분석이급정량적계산,득도여측시일치적결과:광민면적대향응솔적광보특성적영향위단파기본무변화,장파수광민면적적감소이감소,위이후적측시개진제공료삼고.
