功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
6期
640-644
,共5页
黄少艳%邢建平%李长庆%徐勇%裘南畹
黃少豔%邢建平%李長慶%徐勇%裘南畹
황소염%형건평%리장경%서용%구남원
ZnO薄膜%粉末溅射%双点焊
ZnO薄膜%粉末濺射%雙點銲
ZnO박막%분말천사%쌍점한
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现.最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al2O3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件.通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器.
ZnO薄膜是最早髮現有良好氣敏特性,併且也是最早(1962)被提齣用它來研製氣敏元件的金屬氧化物氣敏基材料;然而近半箇世紀以來沒有實現.最近通過用粉末濺射解決氣敏層的摻雜穩定性;通過選擇閤適的絕緣襯底(Al2O3)和適噹選擇濺射參數得到摻雜穩定,結構穩定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件.通過對芯片和接線柱的超聲雙點銲穫得超小型懸掛式的氣敏元件,併用它做齣可檢測100ppm和500ppm兩種酒氣濃度的報警器.
ZnO박막시최조발현유량호기민특성,병차야시최조(1962)피제출용타래연제기민원건적금속양화물기민기재료;연이근반개세기이래몰유실현.최근통과용분말천사해결기민층적참잡은정성;통과선택합괄적절연츤저(Al2O3)화괄당선택천사삼수득도참잡은정,결구은정,성능량호적ZnO박막주민원건.통과대심편화접선주적초성쌍점한획득초소형현괘식적기민원건,병용타주출가검측100ppm화500ppm량충주기농도적보경기.
