上海大学学报(自然科学版)
上海大學學報(自然科學版)
상해대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY
2009年
6期
621-627
,共7页
微机电加速度传感器%压电效应%压电薄膜%灵敏度
微機電加速度傳感器%壓電效應%壓電薄膜%靈敏度
미궤전가속도전감기%압전효응%압전박막%령민도
mieromachined accelerometer%piezoelectric effect%piezoelectric thin film%sensitivity
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增大,灵敏度反而减小.然后进行动力分析,得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数,并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析,得到不同频率下结构的动力响应曲线.
基于壓電薄膜的壓電效應,研究壓電薄膜微機電加速度傳感器.對雙層壓電薄膜微機電加速度傳感器進行靜力分析,得到傳感器方程,併進行數值計算.結果錶明,隨著壓電薄膜厚度的增大,靈敏度隨之增大,在一定厚度下達到最大值,隨著厚度的進一步增大,靈敏度反而減小.然後進行動力分析,得到譟音、質量因子、最小可測信號等技術參數,併進行瞭數值計算.運用ANSYS軟件進行諧響應分析,得到不同頻率下結構的動力響應麯線.
기우압전박막적압전효응,연구압전박막미궤전가속도전감기.대쌍층압전박막미궤전가속도전감기진행정력분석,득도전감기방정,병진행수치계산.결과표명,수착압전박막후도적증대,령민도수지증대,재일정후도하체도최대치,수착후도적진일보증대,령민도반이감소.연후진행동력분석,득도조음、질량인자、최소가측신호등기술삼수,병진행료수치계산.운용ANSYS연건진행해향응분석,득도불동빈솔하결구적동력향응곡선.
A micromaehined accelerometer with piezoelectric thin film based on the piezoelectric effect is studied.By static analysis of accelerometer with two-layer piezoelectric thin film(PZT),a sensitivity formula iS derived.and numerical calculation is then performed.It iS found that sensitivity first increases With the increase of PZT thickness.and reversed when the thickness reaches a certain level.Dynamics analysis iS discussed.Noise,the quality factor and the minimum detectable signal are obtained.Curves of the dynamic response can be obtained with ANSYS in the harmonic analysis.
