功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
10期
1716-1719
,共4页
陶亚明%马书懿%陈海霞%孟军霞%侯丽莉%贾迎飞%尚小荣
陶亞明%馬書懿%陳海霞%孟軍霞%侯麗莉%賈迎飛%尚小榮
도아명%마서의%진해하%맹군하%후려리%가영비%상소영
ZnO:Cu薄膜%磁控溅射%衬底%氧分压%光学特性
ZnO:Cu薄膜%磁控濺射%襯底%氧分壓%光學特性
ZnO:Cu박막%자공천사%츤저%양분압%광학특성
采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅(100)衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO:Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了衬底和氧分压对ZnO:Cu薄膜的结晶性能和光学特性的影响.结果显示薄膜沉积在Si衬底上比玻璃衬底上有更好c轴择优取向,两种衬底上沉积的薄膜有相同的氧分压结晶规律,且在氧氩比为10:10时,薄膜c轴取向同时达到最好.通过对光致发光的研究表明,在低氧环境时玻璃衬底较容易制得好的发光薄膜,可在富氧环境时Si衬底上制得的薄膜发光性能较好.
採用射頻磁控濺射方法在玻璃和硅(100)襯底上製備瞭不同氧分壓的Cu摻雜ZnO(ZnO:Cu)薄膜.利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)和光緻熒光髮光(PL)等錶徵技術,研究瞭襯底和氧分壓對ZnO:Cu薄膜的結晶性能和光學特性的影響.結果顯示薄膜沉積在Si襯底上比玻璃襯底上有更好c軸擇優取嚮,兩種襯底上沉積的薄膜有相同的氧分壓結晶規律,且在氧氬比為10:10時,薄膜c軸取嚮同時達到最好.通過對光緻髮光的研究錶明,在低氧環境時玻璃襯底較容易製得好的髮光薄膜,可在富氧環境時Si襯底上製得的薄膜髮光性能較好.
채용사빈자공천사방법재파리화규(100)츤저상제비료불동양분압적Cu참잡ZnO(ZnO:Cu)박막.이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)화광치형광발광(PL)등표정기술,연구료츤저화양분압대ZnO:Cu박막적결정성능화광학특성적영향.결과현시박막침적재Si츤저상비파리츤저상유경호c축택우취향,량충츤저상침적적박막유상동적양분압결정규률,차재양아비위10:10시,박막c축취향동시체도최호.통과대광치발광적연구표명,재저양배경시파리츤저교용역제득호적발광박막,가재부양배경시Si츤저상제득적박막발광성능교호.
