MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究
MWPCVD제비금강석막장치적대공솔은정운행적연구
Study of Steady Operation of the MWPCVD Apparatus for Diamond Films Deposition on Heavy-Duty
  • 万方数据
    高技术通讯 고기술통신
    HIGH TECHNOLOGY LETTERS
    2001年 7期 88-90 ,共3页

    舒兴胜%邬钦崇

    서흥성%오흠숭

    MWPCVD装置%稳定运行%微波功率%金刚石膜 MWPCVD裝置%穩定運行%微波功率%金剛石膜
    MWPCVD장치%은정운행%미파공솔%금강석막
    介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施.该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行.用该装置成功地在硅衬底上沉积出金刚石膜.
    개소료수랭반응실식MWPCVD제비금강석막장치적결구화공작원리,착중토론료해장치장시간대공솔은정운행적조시.해장치재미파수입공솔위3.0kW시능장시간은정운행.용해장치성공지재규츤저상침적출금강석막.
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