新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2000年
5期
9-11
,共3页
杨春晖%罗南林%熊兴邦%左齐鸣
楊春暉%囉南林%熊興邦%左齊鳴
양춘휘%라남림%웅흥방%좌제명
应力传感器%镱薄膜%蒸发%工艺
應力傳感器%鐿薄膜%蒸髮%工藝
응력전감기%의박막%증발%공예
介绍了镱薄膜应力传感器的工艺设计和制造过程,通过传感器的静态、动态标定及材料测试,验证了新的工艺设计和制造过程是正确可行的.
介紹瞭鐿薄膜應力傳感器的工藝設計和製造過程,通過傳感器的靜態、動態標定及材料測試,驗證瞭新的工藝設計和製造過程是正確可行的.
개소료의박막응력전감기적공예설계화제조과정,통과전감기적정태、동태표정급재료측시,험증료신적공예설계화제조과정시정학가행적.
