光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2003年
4期
25-29
,共5页
原子力显微镜%纳米%粗糙度
原子力顯微鏡%納米%粗糙度
원자력현미경%납미%조조도
介绍了用于纳米量级表面粗糙度测量的原子力显微系统.着重讨论了实现这种测量的软件实现方法.实验结果表明,该系统可以测量任意横向或纵向截面的线粗糙度,同时还可以测量任一区域的面粗糙度,并且在X、Y、Z三个方向上的表面粗糙度测量精度均已达到纳米量级,完全满足纳米尺度形貌研究要求.
介紹瞭用于納米量級錶麵粗糙度測量的原子力顯微繫統.著重討論瞭實現這種測量的軟件實現方法.實驗結果錶明,該繫統可以測量任意橫嚮或縱嚮截麵的線粗糙度,同時還可以測量任一區域的麵粗糙度,併且在X、Y、Z三箇方嚮上的錶麵粗糙度測量精度均已達到納米量級,完全滿足納米呎度形貌研究要求.
개소료용우납미량급표면조조도측량적원자력현미계통.착중토론료실현저충측량적연건실현방법.실험결과표명,해계통가이측량임의횡향혹종향절면적선조조도,동시환가이측량임일구역적면조조도,병차재X、Y、Z삼개방향상적표면조조도측량정도균이체도납미량급,완전만족납미척도형모연구요구.
