材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2004年
3期
280-284
,共5页
张玉娟%吴志国%阎鹏勋%薛群基
張玉娟%吳誌國%閻鵬勛%薛群基
장옥연%오지국%염붕훈%설군기
无机非金属材料%氮化钛%磁过滤等离子体%纳米薄膜%摩擦学
無機非金屬材料%氮化鈦%磁過濾等離子體%納米薄膜%摩抆學
무궤비금속재료%담화태%자과려등리자체%납미박막%마찰학
在室温条件下,用磁过滤等离子体装置在单晶硅基底上制备了纳米结构TiN薄膜分析了薄膜的表面形貌、晶体结构,测量了TiN薄膜的硬度,研究了基底偏压对薄膜结构性能的影响.结果表明,用此方法制备的TiN薄膜表面平整光滑,颗粒尺寸为50～80 nm;随着基底偏压的增大薄膜发生(111)面的择优取向随着偏压的提高,薄膜的颗粒度稍有增大,摩擦系数增大,偏压提高,晶面在较密排的(111)面有强烈的择优取向,硬度也有所增大.在其它条件相同的情况下载荷越大,摩擦系数越大.不起用磁过滤等离子体法制备的纳米结构TiN薄膜具有较低的摩擦系数(0.14～0.25).
在室溫條件下,用磁過濾等離子體裝置在單晶硅基底上製備瞭納米結構TiN薄膜分析瞭薄膜的錶麵形貌、晶體結構,測量瞭TiN薄膜的硬度,研究瞭基底偏壓對薄膜結構性能的影響.結果錶明,用此方法製備的TiN薄膜錶麵平整光滑,顆粒呎吋為50～80 nm;隨著基底偏壓的增大薄膜髮生(111)麵的擇優取嚮隨著偏壓的提高,薄膜的顆粒度稍有增大,摩抆繫數增大,偏壓提高,晶麵在較密排的(111)麵有彊烈的擇優取嚮,硬度也有所增大.在其它條件相同的情況下載荷越大,摩抆繫數越大.不起用磁過濾等離子體法製備的納米結構TiN薄膜具有較低的摩抆繫數(0.14～0.25).
재실온조건하,용자과려등리자체장치재단정규기저상제비료납미결구TiN박막분석료박막적표면형모、정체결구,측량료TiN박막적경도,연구료기저편압대박막결구성능적영향.결과표명,용차방법제비적TiN박막표면평정광활,과립척촌위50～80 nm;수착기저편압적증대박막발생(111)면적택우취향수착편압적제고,박막적과립도초유증대,마찰계수증대,편압제고,정면재교밀배적(111)면유강렬적택우취향,경도야유소증대.재기타조건상동적정황하재하월대,마찰계수월대.불기용자과려등리자체법제비적납미결구TiN박막구유교저적마찰계수(0.14～0.25).
