传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2004年
4期
651-654
,共4页
钟娟娟%陈才和%张燕君%吴波%崔宇明%丁桂兰
鐘娟娟%陳纔和%張燕君%吳波%崔宇明%丁桂蘭
종연연%진재화%장연군%오파%최우명%정계란
光波导%声光调制%声表面波(SAW)%相位调制%叉指换能器%氧化锌薄膜
光波導%聲光調製%聲錶麵波(SAW)%相位調製%扠指換能器%氧化鋅薄膜
광파도%성광조제%성표면파(SAW)%상위조제%차지환능기%양화자박막
提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.
提齣一種新型聲光波導相位調製技術,用于光電集成M-Z光波導榦涉型加速度計的信號調製.相位調製器工作在濺射有K8緩遲層的硅基底上,工作波長為1.3 μm.主要對聲光調製器的特性參數進行瞭理論分析和優化設計,結果為:氧化鋅薄膜呎吋5×0.8×0.003 mm,扠指換能器扠指對數N=17,中心距l=27.19 μm,中心頻率f0=48 MHz,中心指長L0=4.46 mm.
제출일충신형성광파도상위조제기술,용우광전집성M-Z광파도간섭형가속도계적신호조제.상위조제기공작재천사유K8완충층적규기저상,공작파장위1.3 μm.주요대성광조제기적특성삼수진행료이론분석화우화설계,결과위:양화자박막척촌5×0.8×0.003 mm,차지환능기차지대수N=17,중심거l=27.19 μm,중심빈솔f0=48 MHz,중심지장L0=4.46 mm.
