功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
33-37
,共5页
吕文龙%罗仲梓%何熙%张春权
呂文龍%囉仲梓%何熙%張春權
려문룡%라중재%하희%장춘권
PECVD%SiO2%AZ5214E%剥离
PECVD%SiO2%AZ5214E%剝離
PECVD%SiO2%AZ5214E%박리
研究了PECVD腔内压力、淀积温度和淀积时间等工艺条件对SiO2薄膜的结构、淀积速率和抗腐蚀性等性能的影响.结果表明,利用剥离工艺,并采用AZ5214E光刻胶作为剥离掩模成功制作了约21μm厚的包裹在金属铝柱周围的SiO2隔热掩模.
研究瞭PECVD腔內壓力、澱積溫度和澱積時間等工藝條件對SiO2薄膜的結構、澱積速率和抗腐蝕性等性能的影響.結果錶明,利用剝離工藝,併採用AZ5214E光刻膠作為剝離掩模成功製作瞭約21μm厚的包裹在金屬鋁柱週圍的SiO2隔熱掩模.
연구료PECVD강내압력、정적온도화정적시간등공예조건대SiO2박막적결구、정적속솔화항부식성등성능적영향.결과표명,이용박리공예,병채용AZ5214E광각효작위박리엄모성공제작료약21μm후적포과재금속려주주위적SiO2격열엄모.
