真空
真空
진공
VACUUM
2008年
5期
31-34
,共4页
楚信谱%苟伟%李剑锋%张礼平%吕世功%李国卿
楚信譜%茍偉%李劍鋒%張禮平%呂世功%李國卿
초신보%구위%리검봉%장례평%려세공%리국경
等离子体诊断%PECVD%DLC膜%Raman光谱%表面形貌
等離子體診斷%PECVD%DLC膜%Raman光譜%錶麵形貌
등리자체진단%PECVD%DLC막%Raman광보%표면형모
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子体特性进行了诊断,考察了离子电流密度与脉冲电压和工作气压的关系.然后在不同的气体比例下成功的制备出了DLC薄膜.采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和机械性能进行了综合分析,并研究了镀膜工艺与薄膜特性的关系.
類金剛石碳膜以其優異的性能,諸如高電阻率、高硬度、低摩抆繫數、良好的光學特性等顯示齣良好的應用前景,越來越受到人們的關註.本文首先利用朗謬耳探針對基底附近的等離子體特性進行瞭診斷,攷察瞭離子電流密度與脈遲電壓和工作氣壓的關繫.然後在不同的氣體比例下成功的製備齣瞭DLC薄膜.採用拉曼光譜儀、原子力顯微鏡、納米壓痕儀等設備對薄膜的相結構、錶麵形貌和機械性能進行瞭綜閤分析,併研究瞭鍍膜工藝與薄膜特性的關繫.
류금강석탄막이기우이적성능,제여고전조솔、고경도、저마찰계수、량호적광학특성등현시출량호적응용전경,월래월수도인문적관주.본문수선이용랑류이탐침대기저부근적등리자체특성진행료진단,고찰료리자전류밀도여맥충전압화공작기압적관계.연후재불동적기체비례하성공적제비출료DLC박막.채용랍만광보의、원자력현미경、납미압흔의등설비대박막적상결구、표면형모화궤계성능진행료종합분석,병연구료도막공예여박막특성적관계.
