材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2010年
6期
33-35,39
,共4页
李兆博%张春恒%李桂鹏%同磊
李兆博%張春恆%李桂鵬%同磊
리조박%장춘항%리계붕%동뢰
溅射镀膜铌靶材%晶粒尺寸%等轴晶组织
濺射鍍膜鈮靶材%晶粒呎吋%等軸晶組織
천사도막니파재%정립척촌%등축정조직
铌靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀等镀膜行业.作为被溅射的基材,为了获得均匀一致的薄膜淀积速率,对溅射铌靶材的主要要求是均匀的组分、合适的颗粒尺寸以及具体的结晶学取向.本文主要研究在实际生产中,锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺对溅射镀膜用铌靶材晶粒尺寸的影响.通过多次试验,得到合理的锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺,从而对铸锭晶粒进行彻底的破碎和再结晶,最终得到晶粒尺寸小于100μm,且均匀一致的等轴晶组织,满足了溅射镀膜用铌靶材要求的晶粒尺寸和均匀等轴晶组织.
鈮靶材主要應用于錶麵工程材料,如船舶、化工、液晶顯示器(LCD)以及耐熱、耐腐蝕等鍍膜行業.作為被濺射的基材,為瞭穫得均勻一緻的薄膜澱積速率,對濺射鈮靶材的主要要求是均勻的組分、閤適的顆粒呎吋以及具體的結晶學取嚮.本文主要研究在實際生產中,鍛造工藝、軋製工藝以及熱處理工藝對濺射鍍膜用鈮靶材晶粒呎吋的影響.通過多次試驗,得到閤理的鍛造工藝、軋製工藝以及熱處理工藝,從而對鑄錠晶粒進行徹底的破碎和再結晶,最終得到晶粒呎吋小于100μm,且均勻一緻的等軸晶組織,滿足瞭濺射鍍膜用鈮靶材要求的晶粒呎吋和均勻等軸晶組織.
니파재주요응용우표면공정재료,여선박、화공、액정현시기(LCD)이급내열、내부식등도막행업.작위피천사적기재,위료획득균균일치적박막정적속솔,대천사니파재적주요요구시균균적조분、합괄적과립척촌이급구체적결정학취향.본문주요연구재실제생산중,단조공예、알제공예이급열처리공예대천사도막용니파재정립척촌적영향.통과다차시험,득도합리적단조공예、알제공예이급열처리공예,종이대주정정립진행철저적파쇄화재결정,최종득도정립척촌소우100μm,차균균일치적등축정조직,만족료천사도막용니파재요구적정립척촌화균균등축정조직.
