物理学报
物理學報
물이학보
2006年
11期
5872-5877
,共6页
裘亮%孟月东%任兆杏%钟少锋
裘亮%孟月東%任兆杏%鐘少鋒
구량%맹월동%임조행%종소봉
微空阴极%大气压%冷等离子体%射频
微空陰極%大氣壓%冷等離子體%射頻
미공음겁%대기압%랭등리자체%사빈
介绍微空阴极的结构和物理机理,着重介绍一种新型大气压下射频激励的大面积冷等离子体源--融合空心阴极(fused hollow cathodes,FHC).结合应用和与之有关的研究,简单介绍空心阴极的放电特性,以及影响其放电特性的因素,如阴极材料、气体种类、频率、气体流速、气压、阴极内径等.另外提到了其他两种相关的微空阴极系统.
介紹微空陰極的結構和物理機理,著重介紹一種新型大氣壓下射頻激勵的大麵積冷等離子體源--融閤空心陰極(fused hollow cathodes,FHC).結閤應用和與之有關的研究,簡單介紹空心陰極的放電特性,以及影響其放電特性的因素,如陰極材料、氣體種類、頻率、氣體流速、氣壓、陰極內徑等.另外提到瞭其他兩種相關的微空陰極繫統.
개소미공음겁적결구화물리궤리,착중개소일충신형대기압하사빈격려적대면적랭등리자체원--융합공심음겁(fused hollow cathodes,FHC).결합응용화여지유관적연구,간단개소공심음겁적방전특성,이급영향기방전특성적인소,여음겁재료、기체충류、빈솔、기체류속、기압、음겁내경등.령외제도료기타량충상관적미공음겁계통.
