浙江科技学院学报
浙江科技學院學報
절강과기학원학보
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
1期
10-14
,共5页
硅油基底%成膜机理%微观结构%反常边缘效应
硅油基底%成膜機理%微觀結構%反常邊緣效應
규유기저%성막궤리%미관결구%반상변연효응
基于液相材料可用作薄膜生长基底的事实,采用真空热蒸发沉积方法,在硅油基底表面制备了具有近似自由支撑边界条件的镍(Ni)薄膜系统.在原子力显微镜(AFM)的观察下发现,镍分枝状凝聚体事实上是由尺寸为几十纳米且呈现高斯分布的原子颗粒组成,在一定的沉积速率下,其原子颗粒的平均直径随着薄膜名义厚度的增加而迅速减小；同时,还观察到了Ni薄膜的反常边缘效应,并对此现象做了一定的物理分析.
基于液相材料可用作薄膜生長基底的事實,採用真空熱蒸髮沉積方法,在硅油基底錶麵製備瞭具有近似自由支撐邊界條件的鎳(Ni)薄膜繫統.在原子力顯微鏡(AFM)的觀察下髮現,鎳分枝狀凝聚體事實上是由呎吋為幾十納米且呈現高斯分佈的原子顆粒組成,在一定的沉積速率下,其原子顆粒的平均直徑隨著薄膜名義厚度的增加而迅速減小；同時,還觀察到瞭Ni薄膜的反常邊緣效應,併對此現象做瞭一定的物理分析.
기우액상재료가용작박막생장기저적사실,채용진공열증발침적방법,재규유기저표면제비료구유근사자유지탱변계조건적얼(Ni)박막계통.재원자력현미경(AFM)적관찰하발현,얼분지상응취체사실상시유척촌위궤십납미차정현고사분포적원자과립조성,재일정적침적속솔하,기원자과립적평균직경수착박막명의후도적증가이신속감소；동시,환관찰도료Ni박막적반상변연효응,병대차현상주료일정적물리분석.
