CAJ | 학술논문

室温下通过直流磁控溅射Al2O3掺杂3％(质量分数)的ZnO靶材制备了厚度约1μm、结晶度高、表面平整光滑的ZnO∶Al透明导电薄膜.研究盐酸、王水和草酸溶液对ZnO∶Al薄膜的湿化学刻蚀行为,分析刻蚀对薄膜微观结构、光刻图案、电学和光学性能的影响.结果表明,刻蚀对薄膜的结晶取向性无影响；经盐酸、王水和草酸刻蚀后薄膜的电阻率略有增大,从7.4mΩ·cm分别增大到8.7mnΩ· cm、8.8mQ·cm和8.6mΩ·cm；透光率略有下降,从80％分别下降到76％、77％和78％.0.5％的盐酸刻蚀可以获得结构良好的陷光结构.薄膜在盐酸中刻蚀速率快,易产生浮胶；在草酸中刻蚀图案清晰,但存在残留；在王水中刻蚀图案清晰且无残留.
실온하통과직류자공천사Al2O3참잡3％(질량분수)적ZnO파재제비료후도약1μm、결정도고、표면평정광활적ZnO∶Al투명도전박막.연구염산、왕수화초산용액대ZnO∶Al박막적습화학각식행위,분석각식대박막미관결구、광각도안、전학화광학성능적영향.결과표명,각식대박막적결정취향성무영향；경염산、왕수화초산각식후박막적전조솔략유증대,종7.4mΩ·cm분별증대도8.7mnΩ· cm、8.8mQ·cm화8.6mΩ·cm；투광솔략유하강,종80％분별하강도76％、77％화78％.0.5％적염산각식가이획득결구량호적함광결구.박막재염산중각식속솔쾌,역산생부효；재초산중각식도안청석,단존재잔류；재왕수중각식도안청석차무잔류.