中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2012年
3期
60-62
,共3页
陈如麒%翁嘉文%劳媚媚%徐军%朱贵文
陳如麒%翁嘉文%勞媚媚%徐軍%硃貴文
진여기%옹가문%로미미%서군%주귀문
LaNi1-xFexO3%LNFeO-x%化学溶液沉积法%CSD
LaNi1-xFexO3%LNFeO-x%化學溶液沉積法%CSD
LaNi1-xFexO3%LNFeO-x%화학용액침적법%CSD
采用化学溶液沉积法,在(100)取向单晶硅衬底上制备铁掺杂镍酸镧(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究了其结构和室温下的导电特性.X射线衍射测试结果表明,经700℃ 1h退火的薄膜呈钙钛矿结构,没有可以观察到的杂相生成.薄膜表面平整、致密,没有微裂痕出现.随着铁含量的增加,薄膜电阻率由1.7 mΩ·cm增加到3.9 mΩ.cm.
採用化學溶液沉積法,在(100)取嚮單晶硅襯底上製備鐵摻雜鎳痠鑭(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究瞭其結構和室溫下的導電特性.X射線衍射測試結果錶明,經700℃ 1h退火的薄膜呈鈣鈦礦結構,沒有可以觀察到的雜相生成.薄膜錶麵平整、緻密,沒有微裂痕齣現.隨著鐵含量的增加,薄膜電阻率由1.7 mΩ·cm增加到3.9 mΩ.cm.
채용화학용액침적법,재(100)취향단정규츤저상제비철참잡얼산란(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)박막,연구료기결구화실온하적도전특성.X사선연사측시결과표명,경700℃ 1h퇴화적박막정개태광결구,몰유가이관찰도적잡상생성.박막표면평정、치밀,몰유미렬흔출현.수착철함량적증가,박막전조솔유1.7 mΩ·cm증가도3.9 mΩ.cm.
