CAJ | 학술논문

对实际软X射线光学多层膜中普遍存在的主要非理想因素(层厚漂移、界面粗糙度和界面扩散)进行了定量描述基于动力学光学理论,计算了上述非理想因素对软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率的影响结果表明:层厚的随机漂移使反射率、尤其是高级反射率降低;累积层厚漂移破坏了多层膜的长程有序性,使反射峰展宽;界面扩散和界面粗糙度使反射率降低,对高级反射率的影响更甚,但二者并不破坏多层膜的长程有序性,所以反射峰的宽度不变;界面扩散和界面粗糙度对反射率影响的机制不同;在界面扩散宽度和界面粗糙度相等的情况下,界面粗糙度使反射率下降显著用模拟退火Monte-Carlo方法对Co/C软X射线光学多层膜进行了结构评价.该方法能避免复杂的求导运算,在软X射线光学多层膜的结构评价中具有较强的实用性
대실제연X사선광학다층막중보편존재적주요비이상인소(층후표이、계면조조도화계면확산)진행료정량묘술기우동역학광학이론,계산료상술비이상인소대연X사선광학다층막적략입사경향반사솔적영향결과표명:층후적수궤표이사반사솔、우기시고급반사솔강저;루적층후표이파배료다층막적장정유서성,사반사봉전관;계면확산화계면조조도사반사솔강저,대고급반사솔적영향경심,단이자병불파배다층막적장정유서성,소이반사봉적관도불변;계면확산화계면조조도대반사솔영향적궤제불동;재계면확산관도화계면조조도상등적정황하,계면조조도사반사솔하강현저용모의퇴화Monte-Carlo방법대Co/C연X사선광학다층막진행료결구평개.해방법능피면복잡적구도운산,재연X사선광학다층막적결구평개중구유교강적실용성