电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
6期
11-13,21
,共4页
电子束曝光机%精密工件台%结构设计%几何精度
電子束曝光機%精密工件檯%結構設計%幾何精度
전자속폭광궤%정밀공건태%결구설계%궤하정도
介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标.
介紹瞭電子束曝光機的一種新型精密工件檯,在結構上成功地將工件檯的承載力與導軌的導嚮作用分離開來,極大地提高瞭工件檯的運動精度和運行的平穩性.論述瞭精密工件檯的結構設計要點、幾何精度以及達到的技術指標.
개소료전자속폭광궤적일충신형정밀공건태,재결구상성공지장공건태적승재력여도궤적도향작용분리개래,겁대지제고료공건태적운동정도화운행적평은성.논술료정밀공건태적결구설계요점、궤하정도이급체도적기술지표.
