微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
6期
58-62
,共5页
石莎莉%陈大鹏%丁德勇%欧毅%景玉鹏%董立军%叶甜春
石莎莉%陳大鵬%丁德勇%歐毅%景玉鵬%董立軍%葉甜春
석사리%진대붕%정덕용%구의%경옥붕%동립군%협첨춘
MEMS%牺牲层%粘连%拉起长度%突点%自终止%升华%释放
MEMS%犧牲層%粘連%拉起長度%突點%自終止%升華%釋放
MEMS%희생층%점련%랍기장도%돌점%자종지%승화%석방
以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题.根据二氧化硅的腐蚀机理,指导了对腐蚀孔(槽)的设计,通过测量不同条件下的腐蚀速度,得出升温、超声、适时更换腐蚀液是加快腐蚀速度的方法,基于粘连现象中拉起长度的概念,提出基于硅衬底下突点制作及释放牺牲层的方法,并获得了成功释放.
以非製冷紅外焦平麵陣列和熱剪切應力傳感器為代錶,分析瞭這兩種典型的薄膜懸浮結構和帶空腔結構的MEMS器件在進行二氧化硅犧牲層的腐蝕和最終結構釋放過程中的各種問題.根據二氧化硅的腐蝕機理,指導瞭對腐蝕孔(槽)的設計,通過測量不同條件下的腐蝕速度,得齣升溫、超聲、適時更換腐蝕液是加快腐蝕速度的方法,基于粘連現象中拉起長度的概唸,提齣基于硅襯底下突點製作及釋放犧牲層的方法,併穫得瞭成功釋放.
이비제랭홍외초평면진렬화열전절응력전감기위대표,분석료저량충전형적박막현부결구화대공강결구적MEMS기건재진행이양화규희생층적부식화최종결구석방과정중적각충문제.근거이양화규적부식궤리,지도료대부식공(조)적설계,통과측량불동조건하적부식속도,득출승온、초성、괄시경환부식액시가쾌부식속도적방법,기우점련현상중랍기장도적개념,제출기우규츤저하돌점제작급석방희생층적방법,병획득료성공석방.
