山东大学学报（工学版）
山東大學學報（工學版）
산동대학학보（공학판）
JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2007年
1期
111-114
,共4页
周磊%邢建平%周晨%洪德斌%裘南畹
週磊%邢建平%週晨%洪德斌%裘南畹
주뢰%형건평%주신%홍덕빈%구남원
粉末溅射%薄膜%双点焊
粉末濺射%薄膜%雙點銲
분말천사%박막%쌍점한
针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%CeO2薄膜,利用衬底A12O3与ZnO晶体均为六方结构的特点,选择适当溅射参数研制出薄膜气敏元件,同时通过悬挂芯片双点焊工艺,使元件更加小型化.长期检测结果表明,此类元件气敏特性和稳定性良好,适合进一步推广应用.
針對金屬氧化物薄膜氣敏元件傳統製造工藝中存在的摻雜不穩問題,開髮瞭一種實用化的ZnO薄膜氣敏基材料.採用粉末濺射法研製ZnO:1%CeO2薄膜,利用襯底A12O3與ZnO晶體均為六方結構的特點,選擇適噹濺射參數研製齣薄膜氣敏元件,同時通過懸掛芯片雙點銲工藝,使元件更加小型化.長期檢測結果錶明,此類元件氣敏特性和穩定性良好,適閤進一步推廣應用.
침대금속양화물박막기민원건전통제조공예중존재적참잡불은문제,개발료일충실용화적ZnO박막기민기재료.채용분말천사법연제ZnO:1%CeO2박막,이용츤저A12O3여ZnO정체균위륙방결구적특점,선택괄당천사삼수연제출박막기민원건,동시통과현괘심편쌍점한공예,사원건경가소형화.장기검측결과표명,차류원건기민특성화은정성량호,괄합진일보추엄응용.
