浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2007年
6期
1042-1046
,共5页
杨光义%吴仁兵%陈建军%高明霞%翟蕊%吴玲玲%林晶%潘颐
楊光義%吳仁兵%陳建軍%高明霞%翟蕊%吳玲玲%林晶%潘頤
양광의%오인병%진건군%고명하%적예%오령령%림정%반이
碳化硅单晶%液相法%晶体生长%过渡族金属硅化物%碳化硅晶须
碳化硅單晶%液相法%晶體生長%過渡族金屬硅化物%碳化硅晶鬚
탄화규단정%액상법%정체생장%과도족금속규화물%탄화규정수
以过渡族金属硅化物为溶剂,采用自发熔渗法和溶液法来研究不同形貌SiC晶体在金属硅化物熔体中的生长情况.利用光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、体视显微镜等对熔渗试样和采用溶液法生长的单晶和晶须的形貌结构进行了观察和表征,利用X射线衍射仪(XRD)对采用溶液法生长的晶体和晶须进行了相组成和晶型的表征,并讨论了SiC晶须和SiC单晶的生长机理.结果表明,Fe5Si3、CoSi、Co4.5CrSi4.5、Ti2.3Si7.7等熔体适合生长SiC单晶,FeSi、FeSi2等熔体适合生长SiC晶须,而当Fe3Si熔体渗入SiC预制件后,仅有石墨相析出.
以過渡族金屬硅化物為溶劑,採用自髮鎔滲法和溶液法來研究不同形貌SiC晶體在金屬硅化物鎔體中的生長情況.利用光學顯微鏡(OM)、掃描電鏡(SEM)、體視顯微鏡等對鎔滲試樣和採用溶液法生長的單晶和晶鬚的形貌結構進行瞭觀察和錶徵,利用X射線衍射儀(XRD)對採用溶液法生長的晶體和晶鬚進行瞭相組成和晶型的錶徵,併討論瞭SiC晶鬚和SiC單晶的生長機理.結果錶明,Fe5Si3、CoSi、Co4.5CrSi4.5、Ti2.3Si7.7等鎔體適閤生長SiC單晶,FeSi、FeSi2等鎔體適閤生長SiC晶鬚,而噹Fe3Si鎔體滲入SiC預製件後,僅有石墨相析齣.
이과도족금속규화물위용제,채용자발용삼법화용액법래연구불동형모SiC정체재금속규화물용체중적생장정황.이용광학현미경(OM)、소묘전경(SEM)、체시현미경등대용삼시양화채용용액법생장적단정화정수적형모결구진행료관찰화표정,이용X사선연사의(XRD)대채용용액법생장적정체화정수진행료상조성화정형적표정,병토론료SiC정수화SiC단정적생장궤리.결과표명,Fe5Si3、CoSi、Co4.5CrSi4.5、Ti2.3Si7.7등용체괄합생장SiC단정,FeSi、FeSi2등용체괄합생장SiC정수,이당Fe3Si용체삼입SiC예제건후,부유석묵상석출.
