低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2008年
2期
101-105
,共5页
混合物理化学气相沉积法(HPCVD)%MgB2超导薄膜%不锈钢衬底%韧性%纳米粒子
混閤物理化學氣相沉積法(HPCVD)%MgB2超導薄膜%不鏽鋼襯底%韌性%納米粒子
혼합물이화학기상침적법(HPCVD)%MgB2초도박막%불수강츤저%인성%납미입자
我们用混合物理化学气相沉积法(hybrid physical-chernical vapor deposition简称为HPCVD)以氩气为背景气体,在不锈钢衬底上于不同条件下制备了一批MgB2超导薄膜样品.用扫描电子显微镜获取了相关的SEM图像,并对膜的成分进行了能谱分析(EDX)的.当把不锈钢衬底MgB2超导薄膜弯曲不同角度之后,膜面上均出现了裂纹.裂纹的数量和宽度随弯曲的角度的增大而增加,但是膜始终紧紧地覆着在衬底上不脱落.因此我们可以说覆着在不锈钢衬底上的MgB2超导薄膜具有了很好的韧性.在膜中我们也发现有大量的数十纳米大小的晶粒.这个尺寸的纳米粒子的作用可以用来平衡MgB2膜内结构和表面晶粒的活性之间的相互作用.MgB2纳米粒子的存在是MgB2超导膜表现出韧性的关键角色.
我們用混閤物理化學氣相沉積法(hybrid physical-chernical vapor deposition簡稱為HPCVD)以氬氣為揹景氣體,在不鏽鋼襯底上于不同條件下製備瞭一批MgB2超導薄膜樣品.用掃描電子顯微鏡穫取瞭相關的SEM圖像,併對膜的成分進行瞭能譜分析(EDX)的.噹把不鏽鋼襯底MgB2超導薄膜彎麯不同角度之後,膜麵上均齣現瞭裂紋.裂紋的數量和寬度隨彎麯的角度的增大而增加,但是膜始終緊緊地覆著在襯底上不脫落.因此我們可以說覆著在不鏽鋼襯底上的MgB2超導薄膜具有瞭很好的韌性.在膜中我們也髮現有大量的數十納米大小的晶粒.這箇呎吋的納米粒子的作用可以用來平衡MgB2膜內結構和錶麵晶粒的活性之間的相互作用.MgB2納米粒子的存在是MgB2超導膜錶現齣韌性的關鍵角色.
아문용혼합물이화학기상침적법(hybrid physical-chernical vapor deposition간칭위HPCVD)이아기위배경기체,재불수강츤저상우불동조건하제비료일비MgB2초도박막양품.용소묘전자현미경획취료상관적SEM도상,병대막적성분진행료능보분석(EDX)적.당파불수강츤저MgB2초도박막만곡불동각도지후,막면상균출현료렬문.렬문적수량화관도수만곡적각도적증대이증가,단시막시종긴긴지복착재츤저상불탈락.인차아문가이설복착재불수강츤저상적MgB2초도박막구유료흔호적인성.재막중아문야발현유대량적수십납미대소적정립.저개척촌적납미입자적작용가이용래평형MgB2막내결구화표면정립적활성지간적상호작용.MgB2납미입자적존재시MgB2초도막표현출인성적관건각색.
