强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
6期
1319-1322
,共4页
高功率微波%晶体管%损伤%失效分析
高功率微波%晶體管%損傷%失效分析
고공솔미파%정체관%손상%실효분석
在模拟集成电路的抗高功率微波加固研究中,对电路中的单个晶体管进行高功率微波损伤机理研究.对晶体管进行洲入微波损伤效应实验和失效分析,得到了双极型晶体管损伤的基本规律.损伤效应实验采用注入法,分别从晶体管的三极注入微波,得到了损伤结果.对样品进行的失效分析探明了器件的损伤部位和失效机理.结果表明,高功率微波注入主要造成B-E结的退化和损伤;从基极注入微波最易损伤晶体管,而从集电极注入则相反.
在模擬集成電路的抗高功率微波加固研究中,對電路中的單箇晶體管進行高功率微波損傷機理研究.對晶體管進行洲入微波損傷效應實驗和失效分析,得到瞭雙極型晶體管損傷的基本規律.損傷效應實驗採用註入法,分彆從晶體管的三極註入微波,得到瞭損傷結果.對樣品進行的失效分析探明瞭器件的損傷部位和失效機理.結果錶明,高功率微波註入主要造成B-E結的退化和損傷;從基極註入微波最易損傷晶體管,而從集電極註入則相反.
재모의집성전로적항고공솔미파가고연구중,대전로중적단개정체관진행고공솔미파손상궤리연구.대정체관진행주입미파손상효응실험화실효분석,득도료쌍겁형정체관손상적기본규률.손상효응실험채용주입법,분별종정체관적삼겁주입미파,득도료손상결과.대양품진행적실효분석탐명료기건적손상부위화실효궤리.결과표명,고공솔미파주입주요조성B-E결적퇴화화손상;종기겁주입미파최역손상정체관,이종집전겁주입칙상반.
