南昌大学学报(理科版)
南昌大學學報(理科版)
남창대학학보(이과판)
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITH (NATURAL SCIENCE)
2003年
3期
299-301
,共3页
傅继武%谈振兴%徐旭明%王鸣
傅繼武%談振興%徐旭明%王鳴
부계무%담진흥%서욱명%왕명
干涉条纹%条纹位相%条纹间隔%微位移
榦涉條紋%條紋位相%條紋間隔%微位移
간섭조문%조문위상%조문간격%미위이
利用激光干涉条纹的位相,提出了一种简便、快速且精度很高的微小位移的测量方法.实验表明,计算程序是可行,测量精度可达1/360的条纹间隔,可实现光学亚微米和纳米尺度的测量.
利用激光榦涉條紋的位相,提齣瞭一種簡便、快速且精度很高的微小位移的測量方法.實驗錶明,計算程序是可行,測量精度可達1/360的條紋間隔,可實現光學亞微米和納米呎度的測量.
이용격광간섭조문적위상,제출료일충간편、쾌속차정도흔고적미소위이적측량방법.실험표명,계산정서시가행,측량정도가체1/360적조문간격,가실현광학아미미화납미척도적측량.