激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2004年
1期
32-34
,共3页
王芳宁%王植恒%刘细成%刘洋
王芳寧%王植恆%劉細成%劉洋
왕방저%왕식항%류세성%류양
椭圆偏振%薄膜%多次测量法%精度
橢圓偏振%薄膜%多次測量法%精度
타원편진%박막%다차측량법%정도
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算.此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值,是提高椭偏测量精度的有效方法之一.
通過分析橢偏測量的複雜性可知橢偏角高精度測量的重要性,針對曾認為可提高測量精度的多角度測量法在不恰噹地增加入射角時極易破壞求解收斂性得到偽解的情況,提齣瞭在測量誤差一定和閤適數目的多入射角時分彆進行單角度多次數測量橢偏角來提高薄膜參數精度的方法,併對不同搜索範圍和不同測量誤差時的諸多情況進行瞭大量模擬計算.此方法能有效避開偽解、得到高精度的穩定真值,是提高橢偏測量精度的有效方法之一.
통과분석타편측량적복잡성가지타편각고정도측량적중요성,침대증인위가제고측량정도적다각도측량법재불흡당지증가입사각시겁역파배구해수렴성득도위해적정황,제출료재측량오차일정화합괄수목적다입사각시분별진행단각도다차수측량타편각래제고박막삼수정도적방법,병대불동수색범위화불동측량오차시적제다정황진행료대량모의계산.차방법능유효피개위해、득도고정도적은정진치,시제고타편측량정도적유효방법지일.
