黄山学院学报
黃山學院學報
황산학원학보
JOURNAL OF HUANGSHAN UNIVERSITY
2004年
3期
34-38
,共5页
超大规模集成电路%微电子科学技术%发展%挑战
超大規模集成電路%微電子科學技術%髮展%挑戰
초대규모집성전로%미전자과학기술%발전%도전
在微电子学的发展历程中,集成电路(IC)的发明是最具里程碑意义的创新之一.几十年来,IC始终保持着空前的增长率.目前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸缩至深亚微米,将在材料、技术以及基本物理规律等诸多方面面临"巨大的挑战".微电子技术的发展从依靠缩小硅基芯片上元器件的特征尺寸来增加集成度的一维方式演变成向多维发展的模式.文章对深亚微米各技术时代ULSI的发展历程中所遇到的一些材料、技术物理问题以及研究成果进行综述评论,跟踪微电子技术的发展进程.微电子技术已逼近微电子器件的物理极限,并将逐步发展到它的下一代-纳米电子器件,人类对物质世界的认识也将提高到一个新阶段.
在微電子學的髮展歷程中,集成電路(IC)的髮明是最具裏程碑意義的創新之一.幾十年來,IC始終保持著空前的增長率.目前超大規模集成電路(ULSI)的特徵呎吋縮至深亞微米,將在材料、技術以及基本物理規律等諸多方麵麵臨"巨大的挑戰".微電子技術的髮展從依靠縮小硅基芯片上元器件的特徵呎吋來增加集成度的一維方式縯變成嚮多維髮展的模式.文章對深亞微米各技術時代ULSI的髮展歷程中所遇到的一些材料、技術物理問題以及研究成果進行綜述評論,跟蹤微電子技術的髮展進程.微電子技術已逼近微電子器件的物理極限,併將逐步髮展到它的下一代-納米電子器件,人類對物質世界的認識也將提高到一箇新階段.
재미전자학적발전역정중,집성전로(IC)적발명시최구리정비의의적창신지일.궤십년래,IC시종보지착공전적증장솔.목전초대규모집성전로(ULSI)적특정척촌축지심아미미,장재재료、기술이급기본물리규률등제다방면면림"거대적도전".미전자기술적발전종의고축소규기심편상원기건적특정척촌래증가집성도적일유방식연변성향다유발전적모식.문장대심아미미각기술시대ULSI적발전역정중소우도적일사재료、기술물리문제이급연구성과진행종술평론,근종미전자기술적발전진정.미전자기술이핍근미전자기건적물리겁한,병장축보발전도타적하일대-납미전자기건,인류대물질세계적인식야장제고도일개신계단.
