过程工程学报
過程工程學報
과정공정학보
The Chinese Journal of Process Engineering
2004年
z1期
33-39
,共7页
龙仁光%田德之%叶志钧%钟清枝%卓清松%高文秀
龍仁光%田德之%葉誌鈞%鐘清枝%卓清鬆%高文秀
룡인광%전덕지%협지균%종청지%탁청송%고문수
奈米%电导度%潜弧奈米合成系统%可程控器(PLC)
奈米%電導度%潛弧奈米閤成繫統%可程控器(PLC)
내미%전도도%잠호내미합성계통%가정공기(PLC)
奈米微粒的监测与控制技术,目前处于研究阶段,信息十分有限.本文的目的是建立奈米电导度自动量测系统,应用于奈米制程上.本系统采用潜弧奈米合成系统(SANSS)生产奈米流体,并于制程中自动量测其电导度;且撷取回授电流经过滤波,再传送至A/D模块、PLC、计算机,完成奈米流体生产制程之监控与建立电导度自动量测系统.奈米制程中之离子化放电亦以IsSpice软件作仿真分析,再与实际系统做比较,并克服噪声干扰问题.本系统经再三测试,实现了奈米流体稳定的生产及电导度自动量测,可作为发展奈米技术之参考.
奈米微粒的鑑測與控製技術,目前處于研究階段,信息十分有限.本文的目的是建立奈米電導度自動量測繫統,應用于奈米製程上.本繫統採用潛弧奈米閤成繫統(SANSS)生產奈米流體,併于製程中自動量測其電導度;且擷取迴授電流經過濾波,再傳送至A/D模塊、PLC、計算機,完成奈米流體生產製程之鑑控與建立電導度自動量測繫統.奈米製程中之離子化放電亦以IsSpice軟件作倣真分析,再與實際繫統做比較,併剋服譟聲榦擾問題.本繫統經再三測試,實現瞭奈米流體穩定的生產及電導度自動量測,可作為髮展奈米技術之參攷.
내미미립적감측여공제기술,목전처우연구계단,신식십분유한.본문적목적시건립내미전도도자동량측계통,응용우내미제정상.본계통채용잠호내미합성계통(SANSS)생산내미류체,병우제정중자동량측기전도도;차힐취회수전류경과려파,재전송지A/D모괴、PLC、계산궤,완성내미류체생산제정지감공여건립전도도자동량측계통.내미제정중지리자화방전역이IsSpice연건작방진분석,재여실제계통주비교,병극복조성간우문제.본계통경재삼측시,실현료내미류체은정적생산급전도도자동량측,가작위발전내미기술지삼고.
