半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2005年
z1期
91-93
,共3页
宁永功%刘爽%杨忠孝%詹思瑜%廖思舜%李华高
寧永功%劉爽%楊忠孝%詹思瑜%廖思舜%李華高
저영공%류상%양충효%첨사유%료사순%리화고
非致冷红外探测%VOx薄膜%XPS%价带谱
非緻冷紅外探測%VOx薄膜%XPS%價帶譜
비치랭홍외탐측%VOx박막%XPS%개대보
介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VOx薄膜;结果表明该方法制备的VOx薄膜大多是不同价态的混合物,其物相、成分与氧分压密切相关.XPS价带谱研究发现VO2+δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测.
介紹瞭用XPS技術研究反應濺射製備的VOx薄膜;結果錶明該方法製備的VOx薄膜大多是不同價態的混閤物,其物相、成分與氧分壓密切相關.XPS價帶譜研究髮現VO2+δ物相的薄膜最利于非緻冷紅外探測.
개소료용XPS기술연구반응천사제비적VOx박막;결과표명해방법제비적VOx박막대다시불동개태적혼합물,기물상、성분여양분압밀절상관.XPS개대보연구발현VO2+δ물상적박막최리우비치랭홍외탐측.
